用于太阳能电池表面RIE制绒的硅片 - 佰腾专利检索

摘要：

本实用新型涉及太阳能电池表面制绒技术领域，特别是一种用于太阳能电池表面RIE制绒的硅片，包括硅基材，在硅基材的表面具有一层光刻胶，在光刻胶上具有通过光刻的方法形成的密布的制绒窗口。通过对该硅片进行反应离子刻蚀可以获得更加规则的绒面结构，制作出低反射率的太阳能电池，提高发电效率。 - 佰腾专利检索

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