用于太阳能电池表面RIE制绒的硅片 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及太阳能电池表面制绒技术领域,特别是一种用于太阳能电池表面RIE制绒的硅片,包括硅基材,在硅基材的表面具有一层光刻胶,在光刻胶上具有通过光刻的方法形成的密布的制绒窗口。通过对该硅片进行反应离子刻蚀可以获得更加规则的绒面结构,制作出低反射率的太阳能电池,提高发电效率。 - 佰腾专利检索

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