本实用新型涉及太阳能电池技术领域,尤其是一种太阳能电池表面三层减反钝化膜,该减反膜是在硅片衬底表面上沉积一层第一氮化硅薄膜,在第一氮化硅薄膜表面上再沉积一层第二氮化硅薄膜,再在第二氮化硅薄膜表面上沉积一层二氧化硅薄膜。本实用新型提高了太阳能电池表面的钝化效果,降低了太阳电池表面的反射率,并使之能与组件相匹配,减少组件封装损失,提高电池电性能。 - 佰腾专利检索
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