铸锭单晶生产方法 - 佰腾专利检索

摘要:

本发明涉及一种铸锭单晶生产方法,在铸锭生产过程中通过安装在坩埚侧壁上的耐高温涡流传感器探测硅料熔化时的固液界面,控制铸锭炉由熔化阶段跳步至长晶阶段。包含以下步骤:1)设备准备:在坩埚侧壁,籽晶面以上安放耐高温涡流传感器,涡流传感器中心与籽晶面的距离为1/2-1/3涡流传感器探测区域高度;2)装料;3)化料,4)持续测量涡流传感器的电阻率,设定当测量到的电阻率到达转跳点报警设定值时,控制铸锭炉由熔化阶段跳步至长晶阶段,转跳点报警设定值在1000Ω·m-9Ω·m;5)长晶、退火、冷却、出炉。本发明的有益效果是:采用本发明的方法,可以稳定得把铸锭单晶生产熔化过程籽晶剩余高度控制在目标值±1mm范围内。 - 佰腾专利检索

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