荧光纳米标准板的制备方法 - 佰腾专利检索

摘要:

本案涉及荧光纳米标准板的制备方法,包括:1)采用电子束蒸发法或磁控溅射法在基底层表面形成金属层;2)在金属层表面旋涂光刻胶层;利用电子束光刻法对光刻胶层等间距曝光,显影后形成等间距的光刻胶线条;3)将光刻胶线条浸泡于硅烷化试剂中进行表面硅烷化处理,形成硅烷层;4)将硅烷层浸泡于荧光染料溶液中反应30min以在硅烷层的表面修饰荧光染料层;5)在荧光染料层表面旋涂透明保护层。本制备方法步骤少,工艺简单,反应条件温和无污染,工艺重现性好;通过精确调整荧光纳米标准板的结构尺寸,实现荧光线条结构的整齐排列,直观地反应出系统的分辨能力;同时,这种结构的标准板能够实现批量制作,稳定性高,分辨率高。 - 佰腾专利检索

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