一种基于石墨烯的加速度传感器 - 佰腾专利检索

摘要:

本发明公开了一种基于石墨烯的加速度传感器,所述加速度传感器包括表面绝缘的衬底,所述衬底的四周分别设有一片石墨烯薄膜,所述石墨烯薄膜两端分别设有一个金属导电电极,所述加速度传感器还包括一个封装腔,所述封装腔与衬底对应形成一个密闭的腔体,所述腔体内填充有气体。本发明所述的基于石墨烯的加速度传感器利用气体浓度变化以及石墨烯吸附气体的电阻响应来实现对加速度的测量,具有结构简单、响应时间短、灵敏度高和稳定性强的特点。 - 佰腾专利检索

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