一种柔性基材单面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线 - 佰腾专利检索

摘要:

本发明公开了一种柔性基材单面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线,属于镀膜设备领域。本发明包括开卷室、收卷室和镀膜真空室,开卷室与镀膜真空室之间还设有放卷储料室,收卷室与镀膜真空室之间还设有收卷储料室,放卷储料机构的前方设有热合机构,收卷储料机构的后方依次设有切断机构和基材变向机构;缠绕于两组开卷辊上的其中一卷基材的一端依次经过热合机构、放卷储料机构、前处理机构、冷辊、收卷储料机构和切断机构,并经过基材变向机构后缠绕于其中一组收卷辊上。本发明利用开卷的提前备料和收卷的提前备辊,并结合开卷和收卷的储料机构实现多卷基材的连续镀制,省去了中间换卷及抽真空的时间,大大提高了镀膜效率。 - 佰腾专利检索

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