一种防止药液稀释和保护硅片表面的方法 - 佰腾专利检索

摘要:

本发明涉及一种防止药液稀释和保护硅片表面的方法,包括如下步骤:硅片在进入清洗槽前,对其表面喷射去离子水,再将表面有去离子水的硅片从两个滚轮中间的间隙通过,最后用刮片刮去即将浸入药液的那部分硅片表面的去离子水。采用本发明的方法,在清洗硅片时能更好保护硅片表面不被腐蚀,防止药液稀释,减少了药液用量。 - 佰腾专利检索

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