一种防止药液稀释和保护硅片表面的方法 - 佰腾专利检索

摘要：

本发明涉及一种防止药液稀释和保护硅片表面的方法，包括如下步骤：硅片在进入清洗槽前，对其表面喷射去离子水，再将表面有去离子水的硅片从两个滚轮中间的间隙通过，最后用刮片刮去即将浸入药液的那部分硅片表面的去离子水。采用本发明的方法，在清洗硅片时能更好保护硅片表面不被腐蚀，防止药液稀释，减少了药液用量。 - 佰腾专利检索