提高晶圆混合键合强度的方法 - 佰腾网专利查询 - 全球专利搜索领导品牌

摘要：

本发明公开了一种提高晶圆混合键合强度的方法，其特征在于，方法包括：提供需要进行键合的晶圆；将晶圆的键合界面对准后，对晶圆进行键合工艺和热退火工艺；其中，在进行键合工艺的过程中，对晶圆进行热压，并且在进行热退火工艺的过程中，继续对晶圆进行加压。使用本发明的方法后，能够有效提高混合键合的强度，降低了由此造成的产品良率缺失和报废隐患。 - 佰腾网专利查询 - 全球专利搜索领导品牌

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