一种多晶硅铸锭炉 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型提出了一种多晶硅铸锭炉,所述铸锭炉包括圆柱形炉体、隔热笼、侧加热器、坩埚、坩埚侧护板、坩埚底护板、冷凝块;坩埚的矩形侧壁数为n;坩埚的侧护板有n个面,分别对应坩埚的n个侧壁;坩埚的底护板为边数为n的多边形。隔热笼的侧面有n个面,分别对应坩埚的n个侧壁。侧加热器的侧面有n个面,分别对应坩埚的n个侧壁。冷凝块为边数为n的多边形。n>4。本实用新型中的坩埚及热场,可铸造出侧面大于四面的多面柱状硅锭,相对四个侧面柱状的硅锭,更多侧面面的柱状硅锭,单炉装料量更多、产量更高、生产率更高。提高现有圆柱形炉体的利用率和产量,降低生产成本。 - 佰腾专利检索

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