一种用于单晶炉降低能耗的热场装置 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及单晶炉热场领域,特别是一种用于单晶炉降低能耗的热场装置。其包括炉底盘和炉底压板,其中炉底压板设置在炉底盘之上,在炉底压板之上设置保温压板,保温压板和炉底压板之间设置有保温毡。充分利用炉底压板和加热器脚之间的未利用空间。本实用新型的有益效果是:可在不影响晶体质量的前提下,实现等径功率降低4-5kw。 - 佰腾专利检索

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