降低氮化硅粉单耗的坩埚加热旋转台 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及降低氮化硅粉单耗的坩埚加热旋转台,具有坩埚本体,坩埚本体的四面侧板上分别安装有夹具挡板,夹具挡板左、右两端均安装有挂钩夹具,挂钩夹具具有第一支架、第二支架、第三支架、挂钩,第一支架固定安装在夹具挡板上,第二支架与第一支架铰接连接,第三支架与第二支架铰接连接,第三支架上固定有悬置在坩埚本体空腔内的挂钩,夹具挡板左、右两端的挂钩夹具的挂钩之间连接有标线。本实用新型通过挂钩夹具上连接的标线来进行氮化硅的涂层喷涂限制,使得坩埚内壁氮化硅涂层的免喷高度易于控制,而且不易污染,操作简易,飘散的氮化硅仍然附着在坩埚内壁,自然过渡。 - 佰腾专利检索

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