一种单晶炉底盘 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及一种单晶炉底盘,该炉底盘上具有电极孔,电极孔之间的中心距H为435mm。本实用新型的有益效果是:通过对单晶炉底盘进行的改进,使得原先由于受底盘影响只能投最大60KG料的单晶炉,目前可投75KG料,大大的提高了产能。 - 佰腾专利检索

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