铸锭坩埚加热旋转台 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及多晶铸锭配套设备技术领域,特别是一种铸锭坩埚加热旋转台,包括坩埚加热台,旋转机架和电控箱,坩埚加热台设置在旋转机架上旋转,坩埚加热台内具有加热板,加热板与电控箱控制连接,加热板为柔性加热板。坩埚加热台包括侧板和底板,侧板围设在底板四周,在侧板和底板上装有若干弹簧,弹簧上再装加热板。柔性加热板由多层不同材料组成,最外侧为载体,然后依次是硅胶发泡板、加热元件、导热硅胶布、护板和导热硅胶板。该铸锭坩埚加热旋转台能使坩埚的每个区域都达到最佳的喷涂温度,提高喷涂质量,减少龟裂、起泡、针孔等问题的出现,提高多晶硅锭的收益率;限位装置的改进降低了设备的故障率,减少了维修费用。 - 佰腾专利检索

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