用于坩埚喷涂加热旋转台的侧板装置 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及一种用于坩埚喷涂加热旋转台的侧板装置,在侧板上装有若干弹簧,弹簧上再装加热板,加热板为柔性加热板。柔性加热板由多层不同材料组成,最外侧为载体,然后依次是硅胶发泡板、加热元件、导热硅胶布、护板和导热硅胶板。载体为不锈钢板,护板为铝板,加热元件为镍铬丝加热元件。在铝板和不锈钢板上切割出多道增加铝板和不锈钢板弹性的缝。本实用新型的有益效果是:该侧板能使坩埚的每个区域都达到最佳的喷涂温度,提高喷涂质量,减少龟裂、起泡、针孔等问题的出现,提高多晶硅锭的收益率。 - 佰腾专利检索

使用键盘键 进行切换
个性化你的检索平台
有奖
问答
免广告 去掉
广告
联系
我们
专利探索者
群号:580132322
立即加入
专利探索者
媛媛 1402342359
立即咨询
专利探索者
小倩 3326349102
立即咨询
意见
反馈
用户
手册
返回
顶部