用于坩埚喷涂加热旋转台的侧板装置 - 佰腾网专利查询 - 全球专利搜索领导品牌

摘要:

本实用新型涉及一种用于坩埚喷涂加热旋转台的侧板装置,在侧板上装有若干弹簧,弹簧上再装加热板,加热板为柔性加热板。柔性加热板由多层不同材料组成,最外侧为载体,然后依次是硅胶发泡板、加热元件、导热硅胶布、护板和导热硅胶板。载体为不锈钢板,护板为铝板,加热元件为镍铬丝加热元件。在铝板和不锈钢板上切割出多道增加铝板和不锈钢板弹性的缝。本实用新型的有益效果是:该侧板能使坩埚的每个区域都达到最佳的喷涂温度,提高喷涂质量,减少龟裂、起泡、针孔等问题的出现,提高多晶硅锭的收益率。 - 佰腾网专利查询 - 全球专利搜索领导品牌

用于坩埚喷涂加热旋转台的侧板装置
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