用于坩埚喷涂加热旋转台的硅胶垫加热板 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及一种用于坩埚喷涂加热旋转台的硅胶垫加热板,其由多层不同材料组成,最外侧为载体,然后依次是硅胶发泡板、加热元件、导热硅胶布、护板和导热硅胶板。载体为不锈钢板,护板为铝板,加热元件为镍铬丝加热元件。在铝板和不锈钢板上切割出多道增加铝板和不锈钢板弹性的缝。本实用新型的有益效果是:该铸锭坩埚加热旋转台能使坩埚的每个区域都达到最佳的喷涂温度,提高喷涂质量,减少龟裂、起泡、针孔等问题的出现,提高多晶硅锭的收益率。 - 佰腾专利检索

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