一种二氧化钛/二氧化硅一维光子晶体及其制备方法 - 佰腾网专利查询 - 全球专利搜索领导品牌

摘要：

本发明公开了一种二氧化钛/二氧化硅一维光子晶体及其制备方法。该一维光子晶体是由二氧化钛薄膜和二氧化硅薄膜构成的多层膜结构，该一维光子晶体光子禁带中心波长可在380‑800纳米之间任意调节，禁带中心波长的反射率最高可达99％。该一维光子晶体是通过旋涂在衬底上制备含钛前驱体薄膜后通过热处理获得二氧化钛薄膜；再于二氧化钛薄膜表面通过旋涂和热处理获得含硅前驱体薄膜而获得交替的二氧化钛/二氧化硅多层膜结构。本发明通过改变前驱体的化学结构、浓度及旋涂转速可以容易地获得不同厚度的薄膜，从而调控其光子禁带中心波长。本发明可廉价、高效地制备二氧化钛、二氧化硅薄膜以及二氧化钛/二氧化硅一维光子晶体。 - 佰腾网专利查询 - 全球专利搜索领导品牌

一种二氧化钛/二氧化硅一维光子晶体及其制备方法
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