一种可以防止硅片悬浮的花篮 - 佰腾专利检索

摘要:

一种可以防止硅片悬浮的花篮,包括花篮盖板、侧板,所述侧板对称设置在花篮盖板的两端,侧板通过连接板固定;侧板侧面设置有多排进液孔,侧板内壁阵列设置有多个椭圆形的硅片放置槽,侧板侧面顶部设有凸台,花篮盖板边内侧设置有与凸台扣合的定位孔。本实用新型具有结构紧凑、简单易用、方便可靠的特点,待清洗的硅片放置在侧板的椭圆形放置位内固定良好,花篮盖板与侧板上的凸台扣合,能够阻止因酸性溶液浓度变化或者硅片表面气泡过多导致硅片浮起,避免硅片与其他部件接触,降低硅片损失的风险,避免原材料的浪费,花篮和盖板的材质均为PVDF或PP材料,具有很好的耐腐蚀性、耐高温、耐候性、耐氧化的特点。本实用新型很好的改善了现有花篮的不足,具有很好的推广和应用价值。 - 佰腾专利检索

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