具有自动清洁功能的离子注入设备特气传输系统 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及一种具有自动清洁功能的离子注入设备特气传输系统,该系统增加一路清洁气源管路,该管路连接清洁气源,当发生堵塞时通过双向流量控制器,反方向通入清洁气源,吹扫管路清除了管路中沉淀的垃圾,使特气管路畅通无阻。本实用新型的特气传输管路不易堵塞,保证工作人员的安全和注入设备工艺能力的稳定性,最大程度的提高了离子注入设备的使用效率,提高了设备工艺的稳定性。此外清洁气源管路上设置有单向流量控制器,可以根据不同工况调节控制清洁气的流量,适应不同堵塞情况。 - 佰腾专利检索

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