一种太阳能电池扩散工艺 - 佰腾专利检索

摘要:

本发明公开了一种太阳能电池扩散工艺,依次包括以下步骤:将硅片放置在扩散炉中,在800℃以下以300-600sccm的速率通入氧气8-20min;用5-20min将炉内温度升至830-840℃,整个升温过程中持续通入流量比为1:5~1:7的氧气和氮气;保持炉内温度为830-840℃,继续通入流量比为1:5~1:7的氧气和氮气5-20min;保持炉内温度为830-840℃时间为5-10min后将炉内温度降至常温并取出硅片测其方块电阻。本发明步骤2和3中的氧气和氮气的比例为1:5-1:7,能解决扩散方阻中间点偏高的问题,有效改善方阻的均匀性。 - 佰腾专利检索

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