本发明涉及太阳能级多晶硅料的提纯技术领域,特别是一种金属硅的物理提纯方法及其设备,包括流化床、进料系统、等离子激励电源以及收料和气体循环装置,在流化床内采用介质阻挡放电的方法作为等离子的产生方式,用流化床对硅粉进行预热和传输,用硅粉粒度、载气预热温度和载气流速对颗粒平均处理时间进行控制,用载气预热温度、载气的气氛种类和介质阻挡放电的等离子激励电源功率对纯化效果进行控制,在流动过程中对约束在等离子体中的硅粉实现纯化,最终将提纯后的硅料从流化床末端产出。本发明的有益效果是:可以在常压和近常压的条件下提纯硅料,用于提纯的离子密度高,能量大,提纯效率高,成本低。 - 佰腾网专利查询 - 全球专利搜索领导品牌
金属硅的物理提纯方法及其设备