真空高温快速加热装置 - 佰腾专利检索

摘要:

本发明为真空高温快速加热装置,涉及电子加工设备领域,为提高加热效率,采用“8”型红外辐射加热管,均采用陶瓷制作的接线端子与玻璃管发热段一起处于真空加热室内,当温度>200℃,玻璃陶瓷连接处就会开裂。真空密封处易损坏,为此本发明将接线端子通过真空管安装极置于真空加热室外、玻璃管加热段仍处于加热室内,加热管与真空安装极之间硅胶密封的位置跟着也处于真空安装极外侧,本发明能在200℃以上温度正常工作,并具有结构简单,制作容易的有益效果。 - 佰腾专利检索

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