一种金刚线切割硅片的制绒方法 - 佰腾专利检索

摘要:

本发明属于硅片制绒技术领域,特别是一种金刚线切割硅片的制绒方法。步骤如下:一、金刚线切割的硅片进行清洗;二、经过清洗好的硅片在H2SO4或H3PO4-HF-HNO3的混合酸溶液中进行酸腐蚀反应,各种酸的体积比为:H2SO4或H3PO4∶HF∶HNO3=2-10∶1-4∶1-4,反应时间30-70s,其中H2SO4浓度98%,HF浓度49%,HNO3浓度63%,H3PO4浓度85%;三、上述与酸反应好的硅片浸泡在碱制绒液中,反应时间在10s-30s;四、将上述与碱反应的硅片浸泡在HCl-HF溶液中30s-120s;五、将反应好的硅片烘干,再进行后续电池工艺制作。本发明通过对金刚线切割硅片制绒方法的优化,和目前的制绒工艺相比,使该硅片制绒后的反射率降低了6%左右,电池效率有很大提高。 - 佰腾专利检索

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