一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机 - 佰腾网专利查询 - 全球专利搜索领导品牌

摘要：

本实用新型公开了一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机，涉及晶圆抛光技术领域。该去除晶圆表面瑕疵的抛光机，包括工作台，所述工作台的顶部焊接安装有连接支架，工作台的上方设置有顶板，连接支架的自由端和顶板固定连接，工作台上设置有固定组件，顶板的顶部固定安装有液压缸，顶板的下方设置有壳体，壳体的内部固定安装有驱动电机，壳体的底部通过转轴连接有抛光盘，驱动电机的输出轴和抛光盘固定连接，顶板的下方设置有处理组件。该实用新型一方面能够对抛光盘进行降温处理，防止温度过高出现损坏的现象，另一方面，能够对抛光过程中产生的细小杂质灰尘等进行吸收和雾化，一定程度上能够对环境进行保护，使用方便，便于推广。 - 佰腾网专利查询 - 全球专利搜索领导品牌

一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机
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