微型二维扫描镜 - 佰腾专利检索

摘要:

本案涉及一种微型二维扫描镜,包括:支架,其由金属条围成一个框体,具有两条侧臂;反射片,其被两条对称分布的弹性臂悬置在所述框体内,所述弹性臂的一端连接所述反射片,另一端连接所述支架的侧臂;压电片,其设置在所述支架的侧臂上,用于在电场作用下产生逆压电效应,从而驱动反射片旋转。本案解决了一维和二维扫描镜扫描频率低、结构复杂、加工难度大的问题;整体结构简单,在一种驱动源、单片压电片下实现反射镜的二维偏转扫描,易于微型化;成本低廉,采用金属基底和激光刻板工艺即可完成基底的加工,利于大规模批量生产。 - 佰腾专利检索

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