微型二维扫描镜 - 佰腾专利检索

摘要：

本案涉及一种微型二维扫描镜，包括：支架，其由金属条围成一个框体，具有两条侧臂；反射片，其被两条对称分布的弹性臂悬置在所述框体内，所述弹性臂的一端连接所述反射片，另一端连接所述支架的侧臂；压电片，其设置在所述支架的侧臂上，用于在电场作用下产生逆压电效应，从而驱动反射片旋转。本案解决了一维和二维扫描镜扫描频率低、结构复杂、加工难度大的问题；整体结构简单，在一种驱动源、单片压电片下实现反射镜的二维偏转扫描，易于微型化；成本低廉，采用金属基底和激光刻板工艺即可完成基底的加工，利于大规模批量生产。 - 佰腾专利检索