用于芯片加工的刻蚀机 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型公开了一种用于芯片加工的刻蚀机,其特征在于,包括底盘与注液箱,所述注液箱内壁设置有刻蚀终点侦测器,所述终点侦测器包括设置于所述注液箱上侧内壁的激光发射器以及设置于所述注液箱底部的检测器,所述激光发射器与所述检测器位于同一竖直线上,所述激光发射器与所述检测器设置有防腐蚀壁,所述检测器与所述注液箱底部有活动线连接。本实用新型的有益效果:(1)本实用新型设置的刻蚀终点侦测器可以对刻蚀液的量进行测量;(2)本实用新型的各个组成部分易拆卸,易清洗。 - 佰腾专利检索

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