多晶铸锭硅料固液两相实时图像检测装置 - 佰腾专利检索

摘要：

本实用新型公开了一种多晶铸锭硅料固液两相实时图像检测装置，安装在铸锭炉内部，包括阵列设置在铸锭炉隔热笼外侧四周的电容电极，所述的电容电极可沿坩埚垂直方向上下移动，电容电极线路连接有数据采集系统，数据采集系统将采集的数据传输到上位机，上位机中配置有控制板卡，控制板卡线路连接有伺服电机，伺服电机通过减速机构带动电容电极作上下移动。本实用新型通过优化设计、优化算法等手段获得铸锭炉内硅料固液界面的实时图像，借此获得硅料在熔化阶段固液界面的实时位置，也可以获得长晶阶段固液界面的实时位置，从而间接获得长晶速率，为工艺参数的优化提供数据支持。 - 佰腾专利检索