多晶铸锭硅料固液两相实时图像检测装置 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型公开了一种多晶铸锭硅料固液两相实时图像检测装置,安装在铸锭炉内部,包括阵列设置在铸锭炉隔热笼外侧四周的电容电极,所述的电容电极可沿坩埚垂直方向上下移动,电容电极线路连接有数据采集系统,数据采集系统将采集的数据传输到上位机,上位机中配置有控制板卡,控制板卡线路连接有伺服电机,伺服电机通过减速机构带动电容电极作上下移动。本实用新型通过优化设计、优化算法等手段获得铸锭炉内硅料固液界面的实时图像,借此获得硅料在熔化阶段固液界面的实时位置,也可以获得长晶阶段固液界面的实时位置,从而间接获得长晶速率,为工艺参数的优化提供数据支持。 - 佰腾专利检索

使用键盘键 进行切换
个性化你的检索平台
有奖
问答
免广告 去掉
广告
联系
我们
专利探索者
群号:580132322
立即加入

媛媛

1402342359

立即咨询

小倩

3326349102

立即咨询

  • 电话咨询:

    • 0519-88238872
    • 0519-88238871
  • 工作时间:

    • 周一~周五
    • 8:30~17:00
    • (其他时间联系客服QQ)
意见
反馈
用户
手册
返回
顶部