具有低能耗热场结构的铸锭炉 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型公开了一种具有低能耗热场结构的铸锭炉,包括设置在炉体内的保温笼体,放置多晶硅料的坩埚设在保温笼体内,坩埚上方设有上加热器,坩埚下方设有下加热器,下加热器与坩埚下底部之间设有热交换块,所述的热交换块支撑在坩埚底部,热交换块下部具有进气通道和出气通道。本实用新型可以控制长晶初期的成核,使得硅的结晶界面形成一个垂直的温度梯度场,从下往上逐步结晶,由于热场结构紧凑且保温层高反膜的作用,减少了热辐射损失,所产晶锭所需能耗小;且整个过程无石墨部件的活动和摩擦,同时由于保温层的覆盖作用,热场部件碳的释放很少,晶锭的碳污染也较少。 - 佰腾专利检索

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