利用含杂质硅材料制备高纯度单晶硅棒的方法及其装置 - 佰腾专利检索

摘要:

本发明涉及单晶晶体硅棒制备技术领域,尤其是一种利用含杂质硅材料制备高纯度单晶硅棒的方法及装置,克服现有技术对含杂硅材料除杂不完全,而且将除杂和拉制分步进行带来生产资源的极大浪费和产品质量不稳定的缺陷,方法是使用直拉法在拉制单晶硅棒的前期和/或同时还具有使用辅助提杂装置对含杂硅溶液表面进行提取杂质的过程,相应的一种利用含杂质硅材料制备高纯度单晶硅棒的装置,具有炉体、炉体炉腔内的石墨坩埚、石墨坩埚下部的坩埚托盘、石墨加热器和石墨坩埚上部的保温上盖,保温上盖中部具有便于硅棒拉出的通孔,在石墨坩埚的上部还设置有至少一个向下伸向石墨坩埚埚内的杂质提取棒。 - 佰腾专利检索

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