可消除挥发份在热屏外侧沉积的热屏 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及硅单晶炉设备技术领域,特别是一种可消除挥发份在热屏外侧沉积的热屏。通过在热屏上开设导气孔,引导小部分保护气体进入热屏与保温筒之间的顶部空间,改善热屏与保温筒间隙内的气流结构,避免富含挥发份的气体在该处滞留以及挥发份在该处避免上的沉积。 - 佰腾专利检索

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