一种集成光纤与光学微腔阵列化传感器的制造方法 - 佰腾专利检索

摘要：

本发明公开了一种集成光纤与光学微腔阵列化传感器的制造方法，结合MEMS工艺采用V形槽先定域阵列化单模光纤，通过熔融拉锥法实现批量化锥形光纤的拉制，阵列化锥形光纤拉制技术可以实现所有耦合光纤的高度一致性。利用逼近式光刻技术或电子束直写技术实现阵列化锥形光纤与圆形光学微腔的精准耦合。并且其无需用高精密、价格昂贵的光学微台来实现耦合，节省了成本，解决了基于光学微腔传感器的批量化制造难题。通过耦合技术把熔融拉锥法制备的锥形光纤和圆形光学微腔进行阵列化传感器芯片的集成，为实现高灵敏度、阵列化传感器集成提供了可行方法。其利用离子束扫描或者激光回流的方法可以实现高品质因数回音壁光学微腔的制备。 - 佰腾专利检索