草酸铟溶解剂组合物 - 佰腾网专利查询 - 全球专利搜索领导品牌
摘要：本发明提供了一种草酸铟溶解剂，解决了现有问题，该草酸铟溶解剂化学性地溶解去除沉积在由氧化铟锡(ITO)膜或氧化铟锌(IZO)膜形成的透明导电膜的湿蚀刻装置内的草酸铟。本发明涉及一种用于溶解去除在蚀刻装置体系内沉积的草酸铟的溶解剂组合物，其特征在于，所述溶解剂组合物为含有碱性成分以及从氨基多羧酸及其盐中选择的1种或2种以上的水溶液，本发明还涉及使用该溶解剂组合物的蚀刻装置体系内的清洗方法。 - 佰腾网专利查询 - 全球专利搜索领导品牌
草酸铟溶解剂组合物
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